Attualmente, l'intervallo di pressione coinvolto nella tecnologia del vuoto è 105Pa~10-13Pa. Un intervallo di pressione così ampio non può essere raggiunto da nessun tipo di apparecchiatura per vuoto, solo pompa per vuoto, quindi deve essere realizzato da pompe per vuoto di diverse strutture. Secondo il principio di funzionamento, vengono descritti diversi tipi di pompe per vuoto.

Le pompe che utilizzano il movimento meccanico come la rotazione o lo scorrimento per ottenere il vuoto sono chiamate pompe per vuoto meccaniche, che possono essere suddivise nei seguenti tipi:
(1) Pompa per vuoto alternativa. È una pompa per vuoto volumetrica che comprime e scarica il gas mediante il movimento alternativo del pistone nella camera della pompa. Vuoto finale: monostadio circa 103Pa; doppio stadio circa 10Pa. La velocità di pompaggio è 45m3/h~20000m3/h.

(2) Pompa per vuoto ad anello d'acqua. È una pompa a vuoto che utilizza un anello d'acqua per ruotare e cambiare il suo volume. Vuoto finale: monostadio circa 103Pa; doppio stadio circa 102Pa. La velocità di pompaggio è 0,25 m3/h~500 m3/h.

(3) Pompa per vuoto rotativa a tenuta d'olio. È una pompa che mantiene la tenuta con l'olio e utilizza una camma eccentrica rotante per ruotare nel cilindro per pompare aria, inclusa la pompa per vuoto dello statore, la pompa per vuoto rotativa a palette, la pompa per vuoto con valvola a cassetto e la pompa per vuoto trocoidale. Nella tecnologia di deposizione di vapore, la pompa per vuoto rotativa a palette viene utilizzata molto e il grado di vuoto finale è di circa 10-1Pa (singolo stadio) e 10-2Pa (doppio stadio). La velocità di pompaggio è 1L/s~500L/S. Inoltre, viene utilizzata anche una pompa per vuoto con valvola a cassetto e il grado di vuoto massimo è di circa 10Pa (monostadio) e 10-1Pa (due stadi). Velocità di pompaggio 1L/S~600L/s.

(4) Pompa a vuoto Roots . Si tratta di una pompa per vuoto rotativa a volume variabile con due rotori a due o più lobi che ruotano in direzioni opposte nella pompa e viene mantenuto un certo spazio tra i rotori e tra i rotori e la parete interna del corpo pompa. La pompa ha una grande velocità di pompaggio compresa tra 102Pa e 1Pa, che può compensare completamente la velocità di pompaggio insufficiente della pompa meccanica rotativa e della pompa a diffusione dell'olio in questo intervallo di pressione. pompa a pressione. Il suo vuoto finale è di circa 10-2Pa. La velocità di pompaggio è 15L/s~40000L/s. La pompa per radici non può essere utilizzata da sola e deve essere utilizzata in serie con la pompa di supporto.

(5) Pompa turbomolecolare. È una pompa meccanica per alto vuoto dotata di disco scanalato o rotore a palette. Il rotore ruota tra i corrispondenti dischi dello statore e la velocità lineare ruota allo stesso ordine di grandezza delle molecole di gas. Il normale funzionamento della pompa è adatto allo stato del flusso molecolare. Il vuoto finale è di circa 10-8 Pa o superiore e la velocità di pompaggio è generalmente inferiore a 5000 l/s.