Il guasto del sistema del vuoto delle apparecchiature a semiconduttore è generalmente suddiviso in due categorie: uno è il guasto dell'unità della pompa del vuoto DVE e del sistema di misurazione e l'altro è la perdita del sistema del vuoto.

Per il primo tipo di guasto, controllare il vuoto finale della pompa per vuoto DVE o sostituire il vacuometro per confermare. Per il secondo tipo di guasto è necessario il rilevamento delle perdite. Per il rilevamento delle perdite di apparecchiature a semiconduttore vengono spesso utilizzati due metodi: rilevamento delle perdite di pressione statica e rilevamento delle perdite con spettrometria di massa dell'elio.

Il metodo di rilevamento delle perdite di pressione statica consiste nel separare la camera del vuoto dal gruppo della pompa del vuoto DVE con una valvola e misurare la variazione della sua pressione interna. Il rilevamento delle perdite mediante spettrometria di massa è più complicato. Il rilevatore di perdite con spettrometro di massa He generalmente deve essere portato sul posto. C'è una pompa molecolare nel rilevatore di perdite, quindi maneggiarla con cura. Il metodo ad alta sensibilità dei rilevatori di perdite viene spesso utilizzato per rilevare le perdite, il che è utile per proteggere la pompa molecolare. I rilevatori di perdite hanno capacità limitate di estrazione dell'aria, quindi è spesso necessario aspirare l'apparecchiatura stessa. Va bene il vuoto a 0,5 ~ 10 Pa. Attendere finché il tasso di perdita è stabile o passa da stabile a decrescente prima di avviare il rilevamento delle perdite.

Nel processo di rilevamento delle perdite, se è necessario azionare la valvola a saracinesca, la valvola ruvida, la valvola di sfiato, ecc., è necessario prima arrestare il rilevatore di perdite dal rilevamento delle perdite e selezionare la porta di rilevamento delle perdite da non sfiatare, in modo da prevenire il camera a vuoto dall'ingresso improvviso di una grande quantità di gas e danneggiamento del misuratore di perdite di ispezione.

Dopo che il vuoto è stato pompato, la valvola a saracinesca e la valvola di pompaggio grossolana devono essere chiuse per evitare la deviazione che renda il valore di misurazione del tasso di perdita di vuoto inferiore al valore effettivo. È meglio fermare la pompa molecolare e la pompa meccanica sull'apparecchiatura per evitare la loro interferenza; l'apparecchiatura con pompa a freddo dovrebbe arrestare completamente la pompa a freddo se si desidera rilevare perdite.

Quando si utilizza il metodo del vuoto per rilevare il tasso di perdita del prodotto con struttura a doppia tenuta, il tasso di perdita spesso aumenta lentamente, quindi prestare attenzione a questo punto nel processo di rilevamento delle perdite. Inoltre, è necessario che la sacca di He non perda ed è generalmente richiesta la portata di He. Questo è utile per confermare la posizione del punto di fuoriuscita, ma ci sono casi speciali in cui è necessario spruzzare più He in alcuni punti in cui non è facile da raggiungere per evitare un mancato rilevamento. I soffietti installati durante il rilevamento delle perdite non possono essere testati. Dopo che la perdita è stata trovata, deve essere eseguita una seconda conferma e la perdita deve essere confermata di nuovo dopo che la perdita è stata riparata.

Ci sono molte parti nella parte del vuoto delle apparecchiature a semiconduttore. Se una parte ha un elevato tasso di perdita, è facile che il vuoto spinto non venga pompato. I difficili guasti del vuoto delle apparecchiature a semiconduttore sono principalmente causati da micro-perdite, che causano il guasto del vuoto spinto. La difficoltà del rilevamento delle perdite di vuoto consiste nel prestare attenzione ai dettagli dell'operazione ed essere pazienti. Inoltre, deve esserci spazio per la scelta di orologi per alto vuoto di produzione nazionale, altrimenti il ​​grado di alto vuoto desiderato non verrà visualizzato.
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